潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定的。在滿(mǎn)足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮人的喜好。不同行業(yè)的潔凈室都有不同的溫濕度控制范圍，對(duì)監(jiān)測(cè)儀器也有不同的要求。本章將從半導(dǎo)體行業(yè)來(lái)探討潔凈室的溫濕度方案。
面板顯示、微機(jī)電、晶圓、芯片等高精尖要求的半導(dǎo)體行業(yè)加工精度越精細(xì)，對(duì)溫濕度波動(dòng)的范圍要求越小。如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1℃，就會(huì)引起0.24um線性膨脹。在這樣的情境下，溫度需要準(zhǔn)確控制，避免影響產(chǎn)品的質(zhì)量。
半導(dǎo)體潔凈室溫濕度影響簡(jiǎn)述:
潔凈室內(nèi)溫度的影響主要是從產(chǎn)品精度，合格率以及污染的角度（溫度升高后，會(huì)引起人出汗，汗水會(huì)對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間）來(lái)考慮的。越精細(xì)、集成度高的電子加工，對(duì)溫度的敏感性越大。
濕度太高會(huì)使物體表面的灰塵難以清除，但是相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于物體表面，靜電會(huì)使半導(dǎo)體器件發(fā)生擊穿。
按照半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)，潔凈室一般溫度控制在20-25℃，濕度控制在50-60%RH，這個(gè)范圍不但滿(mǎn)足了生產(chǎn)工藝的要求，而且人在這樣的環(huán)境下也感到舒服。
羅卓尼克溫濕度監(jiān)測(cè):
羅卓尼克溫濕度變送器憑借其準(zhǔn)確、穩(wěn)定、易用等的特性贏得了半導(dǎo)體客戶(hù)的青睞。無(wú)錫徽科特服務(wù)的半導(dǎo)體客戶(hù)不斷增多，如維信諾、惠科光電，廈門(mén)天馬等，他們對(duì)溫濕度的控制都很?chē)?yán)格，羅卓尼克的HF1，HF5成為了他們選擇的明星款產(chǎn)品。這兩款變送器很好的滿(mǎn)足了客戶(hù)對(duì)儀器高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定、帶顯示和分析儀在線校準(zhǔn)功能，可以為生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)提供關(guān)鍵控制和監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的需求。
HF1溫濕度變送器:
HF1系列是測(cè)量相對(duì)濕度和溫度的經(jīng)濟(jì)款變送器，性?xún)r(jià)比高?？蛇xSW21軟件進(jìn)行變更量程并對(duì)變送器進(jìn)行校準(zhǔn)和標(biāo)定。
•23℃±5℃精度：±2%RH/±0.3℃；±1.5%RH/±0.2℃（升級(jí)版）
•測(cè)量范圍：0至100%RH/-20℃至60℃
•體積小巧，容易安裝
•USB接口
•工廠校準(zhǔn)35%RH，80%RH
•提供OEM定制型號(hào)和精度
HF5溫濕度變送器:
HF5系列變送器可配合所有帶AirChip芯片的HC2探頭使用。由于探頭的高精度，HF5系列變送器能夠完成高精度的測(cè)量。其探頭更換簡(jiǎn)單輕松，自帶實(shí)體按鈕可現(xiàn)場(chǎng)輕松校準(zhǔn)，屏幕背光可調(diào)節(jié)。
•精度：10℃至30℃時(shí)，±0.8%RH，±0.1℃（常用精度）
•測(cè)量范圍：-50至100℃/0至100%RH（常用范圍）
•數(shù)字輸出，可以與模擬量輸出結(jié)合使用
•可以提供多種濕度學(xué)參數(shù)輸出
•HF5軟件任意點(diǎn)校準(zhǔn)，保持更穩(wěn)定、準(zhǔn)確的精度
•可以作為系統(tǒng)驗(yàn)證模擬器使用
•可選防爆款
•提供OEM定制型號(hào)，可選其他探頭
